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等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~300W可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石  英

腔體內(nèi)部尺寸

Φ250 * Dept.260（直徑*深mm)

腔體容積

12 L

處理最大尺寸

8英寸

泵

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

＜±1% FS

氣路控制

4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

極限真空

5Pa

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、CF4、N?O?等等（可選）

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制；

2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面；

3、配方程序?yàn)?/span> 0~99；

4、多級(jí)權(quán)限操作；

5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

7、報(bào)警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；

12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

750*450*500(寬高深）

重    量

55KG

設(shè)施配置

電      力

單相三線(xiàn)制AC220V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

無(wú)

其      它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.

質(zhì)保、售后服

務(wù)和技術(shù)支持

質(zhì)      保

一年免費(fèi)的維保和備件免費(fèi)更換

技術(shù)支持

接到設(shè)備故障通知1個(gè)小時(shí)內(nèi)提供遠(yuǎn)程技術(shù)支持，對(duì)遠(yuǎn)程無(wú)法定位解決的問(wèn)題，提供現(xiàn)場(chǎng)維修服務(wù)

培      訓(xùn)

設(shè)備正式試用前，提供完整、免費(fèi)的技術(shù)培訓(xùn)