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產(chǎn)品型號：JL-VM150
設備功能：對材料表面進行清洗，活化改性，去除有機物，去除氧化物，去除微小顆粒；提升親水性，增強粘接性，附著力，分子活性。
產(chǎn)品用途：
1、金屬、玻璃、橡膠、高分子材料、PCB、PTFE等材料表面的清潔、處理，增強親水性、粘接力。
2、清潔和表面活化，改善表面浸潤性。
技術參數(shù)：
型 號 | JL-VM150 | |||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | 40KHz 中頻 | |
功 率 | 0~1000W可調(diào) | 0-5000W可調(diào) | ||
選配 | ||||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質 | 316L不銹鋼、航空鋁（選配） | |
腔體內(nèi)部尺寸(MM) | 500*600*500（寬高深) | |||
極板有效尺寸(MM) | 460*450 （寬*深) | |||
極板 | 17層，水平式，活動可調(diào)節(jié) | |||
腔體容積 | 150L | |||
密封性 | 軍工級焊接密封 | |||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵+羅茨泵組合（選配） | ||
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | |||
真空計 | 1×105~1×10-1Pa | |||
質量流量計 | ＜±1% FS | |||
氣路控制 | 2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | |||
極限真空 | 5Pa | |||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | ||
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?等等（可選） | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 850*1700*1020(寬高深） | ||
重 量 | 700KG | |||
設施配置 | 電 力 | 五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定 | ||
聯(lián)系方式：
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